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METIS 系列 |
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- 测量范围
最大 2000 mm
- 多个物体的
检测与测量
- 最低分辨率 5.4nm
- 最低重复性 ?祄
- 测量速率 1600Hz
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| 传感器 |
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模型
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测量
范围
mm |
分辨率
nm |
重复性*
µm |
线性度
µm |
重量
kg |
尺寸（mm）
(E)发射器
(R)接收器 |
| METIS 45 |
0,2 - 45 |
5,4 |
± 2 |
± 8 |
1,5 |
(E) 150 × 75 × 60
(R) 150 × 75 × 60 |
| METIS 90 |
0,5 - 90 |
10,8 |
± 3 |
± 15 |
2,6 |
(E) 182 × 114 × 61
(R) 182 × 114 × 61 |
| METIS 120 |
1 - 120 |
14,4 |
± 4 |
± 20 |
5,3 |
(E) 250 × 164 × 62
(R) 250 × 164 × 62 |
| METIS 150 |
1 - 150 |
18 |
± 6 |
± 25 |
8,9 |
(E) 318 × 180 × 85
(R) 288 × 180 × 85 |
| METIS 180 |
1 - 180 |
22 |
± 8 |
± 30 |
11,5 |
(E) 350 × 220 × 85
(R) 210 × 220 × 85 |
* 测量条件：20C, 指定测量范围内, 整合时间 1s
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