Das LevellerCheck Messsystem besteht aus Abstandssensoren, die das Messprinzip der Laser Triangulation nutzen, und einer Auswerte- und Visualisierungssoftware. Die Anzahl der Sensoren ist abhängig von der Produktpalette; normalerweise werden zwischen 7 und 11 Sensoren eingesetzt.
Die Abstandswerte werden über eine serielle Schnittstelle an den Auswerte-PC übertragen. Über den Visualisierungs-PC wird die Ebenheit auf dem Monitor in einer Falschfarben-Topografie dargestellt. Somit ist eine sofortige Bewertung eines Richtergebnisses als auch die Erkennung typischer Planitätsfehler wie Rand- oder Mittenwellen möglich.